מבוא לטכנולוגיית קידוח גב של מעגלי יוניוול (חלק 1)
קידוח אחורי הוא למעשה סוג מיוחד של קידוחים מבוקרים עומק.
בייצור לוחות רב שכבתיים, כגון לוח שכבה 20-, לעיתים קרובות יש צורך לחבר שכבה 1 לשכבה 10.
בדרך כלל, אנו מקדחים חור דרך חור (קידוח ראשוני) ואחריו תצהיר נחושת ואלקטרופילציה.
התוצאה היא ששכבה 1 מחוברת ישירות לשכבה 20, למרות שאנו זקוקים רק לשכבה 1 המחוברת לשכבה 10.
החלק משכבה 11 לשכבה 20, ללא חיבורי מעגל, פועל כמו עמוד.
עמוד זה מפריע לנתיב האות ויכול לגרום לבעיות שלמות האות באותות תקשורת.
כדי לטפל בכך, העמוד העודף (המכונה "דלע" בענף) נקדח מהצד הנגדי (קידוח משני), ומכאן המונח "קידוח אחורי".
עם זאת, מכיוון שתהליכים הבאים ירחקו קצת נחושת, וקטע המקדחה עצמו מחודד, בשילוב עם גורמים כמו דיוק העומק של מכונת הקידוח, לא לגמרי מוסר. במקום זאת, מרווח קטן נותר בכוונה במהלך קידוח הגב.
אורכו של גזע שיורי שנותר זה מכונה הדל, אשר נשמר באופן אידיאלי בטווח של 50–150 מיקרומטר.
אם הדלע קצר מדי, בקרת הייצור הופכת למאתגרת יותר, מה שמגדיל את הסיכון לקידום יתר.
אם זה ארוך מדי, בעוד שהמוליכות עשויה להישאר לא מושפעת, ניתן להתפשר על שלמות עיכוב האות. כפי שמוצג ב (איור 1).
לפרטים נוספים, עיין בעדכון הבא. תודה על תשומת הלב שלך.