מבוא לטכנולוגיית קידוח גב של מעגלי יוניוול (חלק 3)
זרימת תהליכים בסיסית של ייצור קידוח גב
תהליך 1:
קידוח ראשוני → ציפוי (PTH & אלקטרוליטי) → ציפוי פח → קידוח אחורי → תחריט בור → הפשטת פח → חיבור שרף → תהליכים עוקבים
תהליך 2:
קידוח ראשוני → ציפוי (PTH & אלקטרוליטי) → דפוסי מעגלים → ציפוי תבניות → קידוח אחורי → תחריט → תהליכים עוקבים
מאפיינים טכניים אופייניים של לוחות שקדחו אחוריים:
1. לרוב לוחות קשיחים, אם כי שילובים גמישים-קשישים משתמשים כעת גם בתהליך זה.
2. באופן כללי, מספר השכבות הוא ≥8.
3. עובי הלוח: ≥2.5 מ"מ.
4 יחס רוחב -רוחב גבוה, בדרך כלל ≥8: 1.
5. מידות לוח גדולות.
6. קוטר חור המקדחה הראשוני המינימלי הוא בדרך כלל ≤ 0. 3 מ"מ.
7. קוטר המקדחה האחורי הוא בדרך כלל 0. 2 מ"מ גדול יותר מהחור שיש להסיר (כפי שמוצג באיור 3).
8. סובלנות לעומק מקדחה בחזרה: ± 0. 05 מ"מ.
9. אם המקדחה האחורית חייבת להגיע לשכבה M, העובי הדיאלקטרי המינימלי בין שכבה M ל- M -1 (השכבה הבאה מתחת ל- m) צריכה להיות 0. 15 מ"מ.
1 0. דרישת פינוי: לאחר קידוח גב, קצה ה- Via חייב לשמור על מרחק של ≥0.25 מ"מ מהעקבות הסובבים (כפי שמוצג באיור 4).
